等离子清洗机，是一种低温等离子表面改性设备（表面外理），广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作。
等离子清洗是一种轻微的刻蚀，等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、CVD和涂覆前，用等离子处理可以得到完全的洁净和无氧化层的表面

LED封装工艺过程中，芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量，如果在封装工艺过程中的点胶前、引线键合前及封装固化前进行等离子清洗，则可有效去除这些污染物。