AZZURRO成功实现150mm(6吋)晶圆GaN-on-Si制造
AZZURRO半导体成立于2003年,具有专利的大直径硅基板氮化镓(GaN-on-Si)技术,该技术源自德国Magdeburg大学,在2010年10月获得包括Wellington Partners、Good Energies和Emerald等4家创投业者共1,500万欧元的资金投入后,已正式在德烈斯登(Dresden)设立公司与产能,开始投入量产。  AZZURRO目前有2台MOCVD(有机金属化学气相沉积法)机台,将于2011年10月完成量产设置,预计能达到每月1,400片150mm(6吋)晶圆的出货量。未来仍将持续扩充产能,规划2013年达到每月1万片晶圆,以及2015年达到2.7万片晶圆的产能。

注:运用AZZURRO的专利应力控制技术,能准确控制硅基板上GaN薄膜的曲度。(点击放大)


  LED是一个成长快速的市场,市场规模超过110亿美元,不管是电视、笔电和行动装置用的背光设计,或是固态照明应用,都是各家业者所看好的商机所在,也吸引了众多业者投入,市场竞争非常激烈。
  目前LED产业仍是以50mm(2吋)或100mm(4吋)的蓝宝石基板为基础,若能利用大直径的硅基板氮化镓(GaN-on-Si)技术,便有可能充分发挥现有硅晶生态系统的完备技术与规模经济效益,达到降低整体LED成本的目标。若比较现行150mm(6吋)蓝宝石基板和运用AZZURRO专利GaN-on-Si技术的150 mm(6吋)晶圆,可达到超过75%原料的成本节省。
  虽然GaN-on-Si具显著的成本优势,但由于技术上的困难度,因此一直未能在LED业界广泛应用。主要问题在于,由于硅基板和GaN的热膨胀系数不同,在制程中会因为两种材质间的晶格错位而产生应力,进而形成曲度(bow)和薄膜厚度不均的问题。
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