拥有TSV硅转接板封装实用化加速 大日本印刷推出设计评测用标准底板

  大日本印刷(DNP)为促进采用TSV(硅通孔)的硅转接板(Interposer)封装技术的实用化,于2010年1月推出了设计评测用标准底板。该公司此前曾为不同项目个别提供过评测底板,而此次标准底板的价格为原来的一半以下。并且由于是标准产品,可在较短的交货期内提供。DNP提供标准底板,可促使LSI厂商扩大采用开有TSV的硅转接板封装,大日本印刷也可由此扩大封装受托和MEMS代工业务。



  采用TSV的硅转接板与此前组合使用引线键合(WireBonding)技术的树脂转接板相比,具有以下特点。(1)可缩小封装尺寸;(2)高频特性出色;(3)热膨胀可靠性高。因此是备受期待的新一代封装技术。但采用TSV的硅转接板本身制造成本高,加上LSI厂商采用开有TSV的硅转接板封装的设计、评测验证成本高且周期长,这些对扩大采用硅转接板形成了较大的障碍。



  DNP此次推出的标准底板,可降低设计及评测验证时的成本并缩短设计评测周期。标准底板的TSV孔径为50μm,深度(厚度)为400μm,宽深(Aspect)比为1:8.可在表面和背面设置1层~2层布线层,其间距为200μm,焊接区(Land)直径为110μm.使用这种底板,能够确认TSV基本特性(电阻及高频特性等)。底板表面和背面的布线层可定制。能以150mm晶圆或200mm晶圆制造。



  DNP将在“第11届印刷布线板EXPO(1月20~22日,与第39届日本INTERNEPCON同时举行)”上展出此产品。
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