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罗姆发表演讲公开SiC制MOSFET的开发情况
罗姆在2009年12月17~18日举行的“第18届SiC及宽带隙半导体研究会”上,公布了其正在进行的SiC制MOSFET以及SiC功率模块等的开发情况。
此次发布的是DMOS和沟道型MOSFET.DMOS已经分别开发出了耐压600V、900V以及1200V的产品。室温下导通电阻为5~8mΩcm-2.输出电流方面,大小为4.8mm×2.4mm的芯片可输出20A的电流。4.8mm见方的芯片可输出40A的电流。
沟道型MOSFET是面向大电流化的产品,已经试制出了可输出100A电流的3mm见方芯片。耐压为900V,导通电阻约为3mΩcm-2.还开发出了4.8mm见方、输出电流为300A的产品,导通电阻为2.6mΩcm-2。
除了MOSFET外,罗姆还介绍了以SiC制功率元件构成的功率模块。罗姆已从2009年10月开始样品提供1200V、100A的功率模块。模块的大小为96mm×76mm×15.6mm。
另外,现在罗姆正在日本福冈的3英寸底板生产线上少量生产SiC制SBD和MOSFET。