供应LED蓝宝石衬底检测设备

ronnie
发布于 2011-04-21 #资讯/销售/外贸/展会直接看回复推送文章

进入21世纪以来，LED这个新词汇跃入了人们的视线，可能很多人对LED这个新型产业还不是很了解，但是LED的潜力是无穷的，是巨大的，也将是一个很占有市场的行业，甚至在其他领域方面，也能有一个全新的开端。LED工厂在任何地方guo jia近几年都是呈上升趋势，可见LED的研发和生产是有一定市场的。LED已经成为一大产业，LED的快速发展让市场顿时有了这方面的需求，但是LED的蓝宝石衬底生产出来之后，还有一道非常重要的工作，就是检测工序。当产品成件之后，是否合格，是否能成为成品，检测就成了重中之重。Nanofocus旗下的usurf custom机台就是一款检测设备，可以精确快速的测量出蓝宝石衬底的三位表面形貌，第一时间得出详细的测试报告，平台最大可设置为200*200mm，拥有多种传感器和模块组合，全程自动化操作，精确得出想要的数据。usurf custom机台采用多孔共聚焦技术，可在短时间内完成测量。精确捕捉系统的三维结构和纳米微米级的复杂几何形状，高重复的测量，甚至可以测量陡峭的边缘和表面不平的地方。能够得出高分辨率的三维图像，可靠性高，使用灵活，且操作简单。该机台通过类似照相的功能，自动生成并存储数据文件，并对存储文件进行分析，通过一系列二维和三维的数据。该机台被广泛用于PSS测量，对于PSS ICP后的WAFER进行抽检，测量结果和SEM对比，误差≤1%。 usurf custom的详细参数
10倍物镜20倍物镜50倍物镜100倍物镜
1600S800L/S/XS320L/S/XS160S
测试面积1600*1600um800*800um320*320um160*160um
NA值0.30.4/0.46/0.60.5/0.8/0.950.9
工作距离10.112/3.1/0.910.6/0.66/0.31.0
Z轴方向精度206/5/44/2/21
X、Y轴方向精度3.11.60.70.31
LED行业的未来前景是被众人十分看好的，由于LED的技术逐渐成熟，产量也随之增大，虽然目前蓝宝石衬底是处于紧缺状态，但是在不久的将来，这些问题终将被攻克，人类要进步，科技要发展，只有生产设备和检测设备强强联手才能做到完美。Nanofocus的光学轮廓仪作为检测设备把这些需求全部囊括了，而且Nanofocus可以根据客户的需求进行定制，这项技术在世界上是屈指可数的，由于这是一款通用机台，在很多领域中都能使用，在LED行业中可定制的技术指标如下：1. 软件对最后的结果(比如高度）做统一的修正2. 多个点可自动测试，测试结果输出到一个Excle表格内，方便对比和查看3. 测单个点的高度和宽度，或者测一条线上多个点的高度和宽度4. 根据2、4、8英寸的样品具体形状和大小来定制放置样品的平台（只需把蓝宝石衬底片放上定制平台即可）根据客户的要求来定制机台未必是世界上首无前例的，但是能做到以上要求的，恐怕是凤毛麟角，但是Nanofocus做到了，并且还能根据客户的要求进行更高端的定制和提供更高端的模块配件，也希望更多LED的同行能和我们合作，让LED这个非常具有前景的行业变得更加光芒，微纳米的应用在LED中也能发挥的游刃有余。Nanofocus中国区销售服务工程师联系方式：021-61533166 ronniechen@sunano.com.cn（陈谷一）机台照片：