摘要
 

光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。

任务说明

简要介绍衍射效率与偏振理论

某个衍射级次（?）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。

光栅结构参数

研究了一种矩形光栅结构。

为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。

根据上述参数选择以下光栅参数：

光栅周期：250 nm

填充因子：0.5

光栅高度：200 nm

偏振态分析

现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（?）变量。

如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。

为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。

模拟光栅的偏振态