摘要
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务

正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线

正弦光栅—透射相位曲线

正弦光栅—衍射效率

正弦光栅—效率与周期

正弦光栅—特定周期下的相位曲线

闪耀光栅—效率与高度（TEA）

闪耀光栅—透射相位曲线

闪耀光栅—衍射效率

闪耀光栅—效率与周期

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线


VirtualLab Fusion一瞥

VirtualLab Fusion工作流程
• 设置光栅结构
−使用界面配置光栅结构
• 分析光栅衍射效率
−光栅阶次分析器
• 通过参数运行检查不同参数的影响
− 利用参数运行文档


VirtualLab Fusion技术

文件信息

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