全场光学相干扫描干涉仪
摘要
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。

建模任务

仿真干涉条纹

走进VirtualLab Fusion

VirtualLab Fusion中的工作流程
•设置输入场
−基本光源模型
•使用导入的数据自定义表面轮廓
•定义元件的位置和方向
− LPD II：位置和方向
•正确设置通道以进行非序列追迹
−非序列追迹的通道设置
•使用参数运行检查影响/变化
−参数运行文档的使用


VirtualLab Fusion技术

文件信息

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