低压水银灯和氙气准分子等的性能比较和距离影响
本帖最后由 sen特殊光源 于 2011-1-12 14:43 编辑
低压水银灯和氙气准分子等的性能比较和距离影响 作者 SEN特殊光源株式会社 社长 菊池清我们对低压水银灯和氙气准分子等的清洗改质性能作了比较调查。低压水银灯使用我司200W（品名EUV200GS）。准分子灯使用U社的阻挡放电式氙气准分子灯50W*4灯。性能根据接触角来评价。疝气准分子灯也叫激元紫外线灯，激态分子灯，卤素激元体放电灯等多种叫法，主波长为172nm，本灯的清洗效果虽然比低压水银灯高，但是受到价格，照射距离，知识产权等多种影响，因此发展的并不很多。1 两者的清洗能力相同低压水银灯机体没有窗户，而氙气准分子灯如图所示大多都有石英玻璃窗。所谓的照射距离就是被照射物到光源窗户之间的距离。祥见图一。本次试验所使用的玻璃的临界角大约为3度，照射距离为1MM时的氙气准分子灯和照射距离为5MM的低压水银灯到达临界角所用的时间完全相同。同时低压水银灯在10MM处无明显反应，但是准分子灯在3MM的距离时反应时间则显著变长。2 接触角图一是两者的最佳距离和临界距离。虽然其他公司的研究结果显示是准分子灯的效果比较好，但是低压水银灯的设定照射距离为30MM，而氙气准分子灯则为3MM以下，这是在不公平的条件下产生的错误。在我们对接触角变化的调查中我们发现，从推荐距离的长短无法体现出两者能力的差别，30MM的距离对低压水银灯来说是个不利的条件。由于低压水银灯在照射距离上留有余地，所以比氙气准分子灯更实用。光洗净光源的推荐距离
光源
推荐距离(mm)
临界距离(mm)
疝气准分子灯
1-3
8
低压水银灯
5-20
200
3 接触角表示清洗后放置时间的影响，相同数值时清洗度是否有差别我们研究了光清洗和光清洗后放置的影响得出了很多有意思的结果。我们对只以接触角来判断清洁度持怀疑态度，认为对清洗度的判断方法应该有所修改。即便是达到了相同临界接触角的表面，如果处理时间短以也会发生如图二图三那样接触角很快即还原的现象。这种现象是表面的有机污染膜在光清洗时单分子层以下的被处理过程中，即便是露出很少的材质表面接触角也能显示出玻璃临界值。即便是有机污染膜减少临界角虽然会比临界值低，但同时没有污染的玻璃面积会变大。处理时间短接触角很快恢复的情况我们可以认为是浮游有机物在有机污染膜上比在玻璃面上更容易堆积。这是微米世界的问题现象。
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