LG发表15英寸白色OLED面板组合TFT工艺
LG发表15英寸白色OLED面板组合TFT工艺
韩国LG显示器IDW''10的特邀论文中发表了15英寸白色OLED面板组合WRGB方式彩色滤光片的有源阵矩型OLED面板(论文编号:OLED3-1)。该面板以前曾多次发表过,但此次更为详细地介绍了TFT背板的工艺及元件构造。TFT元件为使用红外线RTA(Rapid Thermal Annealing)装置的SPC(Solid Phase Crystallization)TFT,基板尺寸为第四代。Vth偏差为标准6mV,迁移率偏差为0.87%,与ELA(Excimer Laser Annealing)方式相比非常小,适于有源阵矩型OLED面板的背板。
由于是底面发光方式,因此必须在形成TFT基板的阳极之前形成R(红)、G(绿)、B(蓝)彩色滤光片。LG显示器表示,这些滤光片是利用与TFT液晶面板的COT(Color Filter On TFT)技术相同的技术形成的。之后,利用具有充分厚度的平坦化薄膜来保护滤光片,并同时确保OLED所需要的平坦性。接下来再在该平坦化薄膜上形成阳极,并利用蒸底法形成白色OLED层。
白色OLED元件的构造如以前所发表的那样,是由R、G磷光材料和B荧光材料组合而成的串联型。与蒸镀分涂方式相比时,视角依存性略显突出。在以 Δu''v''<0.02定义的视角范围方面,与分涂型的130度相比,“白色OLED+彩色滤光片”方式为90度。另外,由于显示标准影像时的耗电量比分涂型高,因此今后的课题是降低耗电量。
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