引言　 在LED行业人士心中一直怀揣着一个梦寐已久的中国梦：MOCVD设备的国产化。“国内涉足这个领域的公司，从2009年的20多家减少到了目前四五家，市场化的不多了。”近日，中晟光电董事长陈爱华在接受记者采访时如此说道，用锐减的数字，一语道出了MOCVD设备国产化的情况不容乐观，同时也为目前整个国产MOCVD设备现状定下了一个大大的基调。
其实，在LED行业人士心中一直怀揣着一个梦寐已久的中国梦—MOCVD设备的国产化。
MOCVD—生产LED外延芯片最核心的设备，其工艺、技术极为复杂;同时，它也是制造环节中最为昂贵的设备，占据LED外延芯片几乎一半的成本。众所周知，美国的Veeco和德国AIXTRON，这两家巨头设备供应商业已垄断市场多年。由于这些原因，其进入门槛颇高，也因为无剑在手，让中国LED行业在国际博弈中一直处于劣势，严重阻碍中国LED行业发展。
MOCVD设备国产化，一方面当然是为了分享在这个领域的巨大利润;另一方面是为了降低生产成本，从而获得市场的话语权，让LED进一步得到普及。
不过，对于国产的意义，华中科技大学副教授、广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银却对记者如此表示：“大家有力倡导国产，但是国产的目地不是为了赚钱，而是为了活。”显然，他对国产的目的概括得更为入理、深刻。
“我国实现LED芯片生产核心设备MOCVD国产化。”2012年12月12日，各大媒体以此为标题发布消息称，中晟光电研制出了中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备，而且还列出来了四个核心的差异竞争力。
这条消息至今萦绕耳畔，恍如昨日，似乎国产MOCVD设备业已初现曙光，自力更生，打破国外巨头企业的垄断地位，实现这样的鹄的为期不远。
可是，这个夙愿真的要实现了吗?
今年开始，随着LED行业爆发期的到来，芯片企业一方面为了抢占市场占有率，另一方面如三星中国区总经理唐国庆对记者所说的那样：“国内也一样，三安是国内芯片老大，三安也要把自己做大，这是大家都看出来的。还有德豪润达，德豪润达扬州的基地也开始投产;还有华灿和同方，以及MOVCD设备相对来说不多的企业，都不甘落后，肯定都会跟上，使自己成为‘剩下来的几家’之一”，于是开始大肆采购MOCVD。三安、华灿、澳洋顺昌、德豪润达……互相追赶，鏖战甚酣，大有一决雌雄之意。
据理想能源副总裁、总经理、MOCVD项目主管奚明向记者透露：“目前国内有1050-1100台左右的MOCVD设备;随着照明应用的崛起以及老旧设备的汰旧换新，预计未来全球MOCVD设备将会有每年400-500台左右的需求。”
对于2014年国内新增的机台数量，中晟光电董事长陈爱华在接受记者采访时预测：“2014年可能会新增100-120台。”
然而，让人疑惑莫解的是，在国内芯片企业崛起的同时，在如此庞大的MOCVD设备的采购量中，却鲜有国产MOCVD设备的身影。不觉让人扼腕叹息，也俾人疑惑丛生。
“今年的市场窗口打开了，市场起来了，所以就有采购，明年会有一个大的发展。今年的设备如果不能打入市场，或者说客户不多，设备没有被验证，那么到明年的大量采购的时候，国产的设备就不会被采用了，可以说2014是国产MOCVD设备生死存亡的一年。”中晟光电董事长陈爱华在对记者阐述当前情况的时候，露出了对国产MOCVD设备打入市场的焦虑。
几年过去了，国内MOCVD设备制造领域生态环境到底进展如何?又是哪些因素在制约着国产MOCVD设备打入市场?针对这些问题，记者采访了几家国内较为有名的MOCVD设备制造企业负责人，一探究竟。
已销售给客户 都处于试产阶段
就像曩昔在中国大地上广为流传的那句话：实践是检验真理的唯一标准。同样如此，一个设备好不好，关键是看它有没有市场，一言以蔽之，市场是检验产品的唯一标准。到目前为止，国产设备在市场上到底销售得怎么样?
“我们已经销售了，设备已经在客户工厂里试生产了，已经有好几个客户。而且设备运行情况，总得来说，进展良好。”中晟光电董事长陈爱华在电话里对记者说道。不过，除开众所周知的华灿、圆融，他并未透露还供应给了哪些芯片企业。
据记者了解，其实，早在2010年，广东昭信集团就已推出首台MOCVD设备，并提供给亚威朗和武汉迪源光电试用，可是这只是一个样机，设备的工艺设计还存在缺陷。
广东昭信集团之后根据客户的反馈情况，进行了工艺改进。2012年12月27日，又推出了昭信二代MOCVD设备，据当时的公告称是量产型的，并将设备提供给量晶光电试用。而且进一步解释说，其目的是借助量晶光电在LED外延工艺方面的优势力量，进一步验证昭信MOCVD设备的性能，建立示范应用的样板，来进行市场推广。
而如今广东昭信的设备到了产业化哪一个阶段了呢?
“应该说，我们已经产业化了。我们销售给了一些园区内的相关单位，现在已经有五台设备在生产线上运行。设备运行情况稳定，产品的良率良好，我们现在就在做一个示范。”华中科技大学副教授、广东昭信总经理甘志银总经理对记者透露。
记者从想能源设备副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明博士出了解到，截至目前为止，理想能源已经发送2台MOCVD设备。理想能源MOCVD设备于2012年12月和2013年6月先后进入江苏璨扬光电和上海映瑞光电进行工艺验证，并于2013年10月在江苏璨扬光电就当时的产品型号正式投入试量产。
据了解，奚明博士是中央千人计划专家，美国哥伦比亚大学化学博士，美国麻省理工学院博士后，曾任美国应用材料公司 (Applied Materials)副总裁，在这方面有丰富的经验。
对于设备运行的一些最新动向和细节，奚明博士向记者介绍说：“由于最近璨扬光电的产品型号有所变化，目前理想能源正在协助璨扬光电进行新产品型号的工艺验证工作，预计很快就会投入新产品型号的试量产工作。
同时，理想能源与映瑞光电就使用分步法生产工艺生产外延片达成一致;即：使用理想能源MOCVD设备生长底层，搭配其他设备生长LED结构层，这样可以充分发挥理想设备产能大的优势，大幅提升生产效率。经初步验证，相较目前工艺，在相同投入的前提下，采用分步法生产工艺可以提升50%以上的生产效率。
同时，由于生长底层的工艺相对简单、成熟;对设备的要求相对较低，可以大大缩短设备验证时间并尽快投入试生产。目前双方正在加紧工艺的调试和验证工作，以期尽快投入试量产。”
“总的来说，目前理想能源的MOCVD设备在客户处的工艺验证工作较为顺利，处于产业化的前期阶段;预计设备将于近期于客户处陆续投入试量产，这将标志着理想能源的MOCVD设备真正开启产业化的大门。”理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明对未来的发展保持乐观。
记者致电上海映瑞光电负责人了解相关情况，可是对方以签订保密协定为由拒绝透露。只是提及“国产设备可能会在以后三年左右有这么一个机会”。
从上面可以了解到，虽然国产设备已经发运给客户，但是需要注意的是，设备都是在一些特定的”相关单位”运行，做一个示范而已，很少有国内的芯片企业主动去采购，即便有几个客户，也可能是一种合作关系或者在政策的牵引下，协助国产设备技术验证而进行的一个试产。应该说，到目前为止，国产MOCVD设备是否实现了真正意义上的量产，需要打一个大大的问号，理想与现实或许还存在“温差”，例如中晟光电采取的是以销定产的策略，理想能源还“处于产业化的前期阶段”。
记者在采访的过程中，曾多次要求采访对象说出已经采购国产设备的企业名字，但对方都三缄其口，拒绝透露。那么国产MOCVD设备工艺水平是否已达到生产要求?
技术差距已缩小 而且部分已超越
“从目前客户反馈来看，设备的性能已经达到国外同类设备水平，部分指标(如产能)超过国外同类设备;同时，理想能源也针对客户的反馈进行了设备优化改进，达到或超过了客户的预期(如AlGaN中的铝组分可达85%以上。)”理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明表示。
作为一个以技术出身的企业高管，奚明博士还耐心地对记者在设备的性能方面做了详细的解释。据奚明博士介绍，目前理想能源MOCVD设备的单腔产能达到了90片(2英吋)，相较美国和德国设备分别提升了66%和30%以上;性价比优势较为突出。
除此之外，奚明博士还补充说，理想能源MOCVD设备的创新和差异化设计特征也突出，在反应气喷淋头、加热单元和温度控制、腔体内耐高温材料组合、系统架构等方面实现了创新，从而使设备的工艺参数在多个方面超越了进口同类设备。例如，在AlGaN材料中Al浓度可高达85%，使其在紫外、深紫外LED及激光器、光电集成及大尺寸硅基衬底上LED生产等新兴领域设备市场上有突出的竞争优势。
同时，理想能源充分利用靠近客户和零部件国产化的优势，与客户共同合作改进和优化设备，为客户提供定制化服务，进一步提升客户的工艺水平和降低成本;这些都是进口设备供应商所不能或不愿提供的。
“我们有20多个专利，我们有自己的知识产权。”中晟光电董事长陈爱华用专利的数量来回击记者的质疑。
对于同样的问题，华中科技大学副教授、广东昭信总经理甘志银对于记者的提问，表现得有些激动。
他认为：“现在不是国产的设备不行，我们的设备已经生产线上运行了那么长的时间了，我们设备的表现跟国外设备相比，从工艺设计方面来讲完全没有距离，完全可以100%的取代他们，无论是从稳定性，还是从产品的良率来看。性能上没有差距了，而且有些性能还比他们好。”
“设备的性能已经达到国外同类设备水平”，“我们有20多个专利”，“完全可以100%的取代他们”。从这些引人注目的字眼上可以看出，经过不断的努力，国产MOCVD设备在制造工艺水平上似乎取得了长足的进步。然后与此同时又抛出了一个致命的问题，如果技术不是问题，为何客户并不买账?这是目前不可回避的最大的现实问题，毕竟国产MOCVD设备的意义并不是为了做室内花瓶，而是实实在在的被大量用起来。
　推广有难度 谁都不愿第一个吃螃蟹
在承认国产设备取得进步的同时，理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明较为客观的向记者道出了国产设备销售困境的原委。
“我们必须承认，国产MOCVD设备相较于进口设备还处于弱势地位，主要表现为设备的性能和稳定性等方面尚未真正得到市场的验证和接受;这是一个较为长期的过程，我们应做好持久战的心理准备。”
“现在客户不太愿意用，他有点担心，他很犹豫。采购我们的设备，因为不信任，所以他需要重新验证，可是这又要花钱。”中晟光电董事长陈爱华无奈的表示了类似的观点。
记者在采访国内一家不愿具名的芯片企业负责人时，从他的话语之间也流露出对国产设备的不信任：“是有做国产设备的企业负责人跟我们接触过，可是你想，国产设备的稳定性并没有得到很好的验证，国内芯片企业用惯了进口设备，不想自找麻烦。”
“我觉得国产化设备销售的市场本身，目前这个环境不是很好的一个环境。因为前期生产出来的设备客户不太相信你，客户谁都不肯第一个用。在这种情况下推广有一定难度。在说LED市场，他本身就是一个很疲软的市场。”对于这种情况，广东昭信总经理甘志银继续说道：“这是情有可原的，也是可以理解的。”
2013年11月15日，中晟光电董事长陈爱华在接受记者采访时曾表示，使用中晟光电的MOCVD设备，下游客户单片外延成本相对于美国Veeco的设备，至少可以下降25%。从以上内容可以了解到，国产MOCVD设备在技术上已逐渐靠拢世界先进水平，而且国产MOCVD设备有如此诱人的性价比优势，在缩减成本如此明显的情况面前，为何不见几家芯片企业主动来“提亲”呢?
性价比优势不复存在 遭国际巨头价格战反击
在深入采访中，从理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明口中得到了相关情况，据她介绍：“现在进口设备供应商在之前从中国市场赚得的超额利润的支持下，为了继续保持垄断利润，两大巨头通过大幅降价(超过60%，甚至涉嫌倾销)的方式打压国产设备供应商，其意图十分明显，即：挤垮国产厂商后继续享受超额垄断利润。”
“目前理想能源MOCVD设备与进口主流机型的价格基本相当了。”不言而喻，无异于晴天霹雳，这几乎就是国产MOCVD设备难以打入市场的最根本的桎梏所在。
“在国家及地方政府的政策层面，国产MOCVD设备也面临着不小的挑战：一是进口MOCVD设备仍享有免进口关税政策;二是部分地方政府仍为进口设备提供大额设备采购补贴(接近设备采购金额的70%)，而国产设备目前无法享受这一补贴。这直接造成了国产设备的巨大价格劣势，进一步削弱了客户购买国产设备的积极性。”在记者的追问下，理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明继续解释道。
“现在价格下降到一千万以下，或者说大家都在一千万左右。”对记者提到的目前价位问题，广东昭信总经理甘志银如此表示，不过，他并不太乐意说出各自的价位，只是含糊其辞的告诉记者。
“我们的竞争对手降价，把我们的成本优势削弱。”中晟光电董事长陈爱华从侧面来回答这个问题。同样没有透露各自的售价情况。
客观的说，毕竟美国的Veeco和德国的AIXTRON设备已大量销售，在全球形成了品牌优势，性能得到了公认，而国产设备现在又失去了性价比优势，遭国际巨头价格战反制，无疑是雪上加霜，特别是在国产MOCVD上市的初级阶段，即使国产设备在技术已达到或超过国际设备技术水平，可是客户在心理上还必须经过：质疑—摇摆不定—转变，这样一个较为长期的接受过程，摆脱“先入为主”的惯性思维，如此一来，让国产MOCVD在爆发期打入市场，无疑难上加难，就自然生了许多变数。
国产设备进入市场 需要政府加大扶持
“推广最大的困难，我觉得是因为有些地方政府怎么还对进口设备给予补贴。”广东昭信总经理甘志银一针见血的指出，把矛头直指政府层面的补贴上。
确实，国内地方政府为了拉动当地LED产业的发展，从2009年起实行高额补贴。在这种补贴的刺激下，国外的MOCVD公司也创出业绩新高，赚得盆满钵满。政府一方面在倡导推动MOCVD设备国产化进程，可是与此同时，却高额补贴进口设备，无形之中，用这种在市场化环境中有碍公平的形式变相的阻碍国产设备打入市场。
之前，华灿光电公告，公司申报“采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目，接到国家工信部补贴款600万元。据了解，目前一台进口的设备大概是一百万多美金，而政府对于“进口设备的补贴接近设备采购金额的70%”，明显高于对国产设备的补贴。
不过上海映瑞光电易总却持有不同的看法，他以为：“从投资的角度来讲，政府的补贴对于行业的发展是有好处的，如果没有政府的补贴，中国LED芯片行业不可能发展到目前这样大的一个规模。问题在于怎么合理的利用这种补贴!大家看到一台机子多多钱，政府补贴了多少多少，看起来很多，但是你仔细去了解的话，对于后端芯片的配套，对于一些厂房设施，以及工厂建设的一个成本，如果把这些东西都考虑进去，我认为政府的补贴算是比较合理的吧。因为形成生产力不能光只靠MOCVD，还需要其他的东西。”
据广东昭信总经理甘志银透露，对于国产化的支持，目前国家工信部也有相应政策，但是工信部自己也说这个政策执行得不是很好。就是说有政策，但实际上没有得到很好的落实。国产装备，走向市场，是需要国家进行扶持的，特别是前期，在这种情况下推广有一定难度，因为前期生产出来的设备客户不太相信你，客户谁都不肯第一个用。
“采购进口设备，地方政府会给予补贴，采购国产设备，也会给予补贴，这倒是相同的，因为只要你的机子性能达到要求，客户愿意采购，地方政府也会给予补贴，因为他不愿意承担不重视国产设备的罪名。今年工信部也采取措施，通过招标的形式，鼓励我们的客户采购国产化设备。”中晟光电董事长陈爱华隐约之中透露出了政府扶持的力度并不是很大，政府的政策甚至有作秀嫌疑。
理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明也明确对记者表示，在国产设备推广上，需要政府在扶持力度上进一步加大，而且要调整之前对于进口设备的相关政策，向国产设备倾斜。
“各级政府对国产MOCVD设备的扶持力度还是较大的，例如针对MOCVD设备企业的项目研发资金扶持、工艺验证资金扶持以及针对芯片企业的芯片生产线关键成套设备工艺研发支持等等;这些政策对国产MOCVD设备的研发和初期推广起到了关键性的作用，受到了国产设备企业和芯片企业的欢迎。目前，国产MOCVD设备开始进入了产业化推广阶段，如能调整对进口MOCVD设备的免关税政策以及采购补贴政策;将会进一步促进国产MOCVD设备的产业化推广，提升国产MOCVD设备的市场竞争力。”
行业景气度将持续 国产设备打入市场还有望
在如此严峻的情况下，国产设备还有用武之地吗?现在国内芯片企业大量采购，MOCVD设备今后还有多大的市场容量?目前的行业景气度能够延续多长时间，LED目前的扩产会不会造成新一轮的产业过剩?这些问题都将严重影响到国产MOCVD设备的命运。
“我们预估和客户差不多，我们认为会有三年的好日子，从2014开始到2016。”认为2014年是国产设备生死存亡一年的中晟光电董事长兼执行长陈爱华说道，不过他认为不会造成产能过剩：“我认为现在比以前谨慎多了，他们对外宣布采购多少，实际上采购的量并不是那么大，他们也是按需求逐渐扩充产能的，不像以前一下子订购很多。”
不过，对于2014年是国产MOCVD设备生死存亡的一年的说法，广东昭信总经理甘志银表达出了不同的意见：“LED市场不能按照常规市场来看。我觉得MOCVD设备市场容量，只要LED行业在，每一年都有要求，一直会有需求。原因是什么，中国的企业，他不像外国的企业逐步兼并集中，中国的外延芯片几十家，每一家企业为了生长，都会去采购，都会去扩产，所以整个大市场，好像有点过量的表现，但是即便是过量他也会采购。”
在谈到芯片企业的竞争是否会导致产能过剩，甘志银对记者表示可能存在这样的风险。他认为一定会造成产能过剩：一方面是技术越来越来好，以前运行不太好的设备，现在运行好了，相当于一个产能的释放;有十台二十台的设备厂家，他们会进攻，每个企业都在进攻，像三安会大举进攻，肯定会造成短时间内过程问题。
而对于国产MOCVD打入市场的前景，他表示："我们要做设备示范，我们要把设备运行得非常好，甚至于被逼到我们自己要做芯片厂来验证，如果我们做了一个良好的示范，一点缝隙都没有了，那么市场就会转过来。"
同样对LED景气度问题保持乐观态度的，还有理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明，她表示：“国内LED芯片企业较为分散，行业集中度亟待提升;最近的几起行业并购、整合案例正说明了这一点。目前国内芯片企业的采购也主要是集中在行业领先大厂之间，相信经过这一轮深度整合和调整，未来LED芯片行业将会回归良性发展的轨道，我们对此抱乐观态度。如果这一轮的行业整合和调整能够到位的话，未来LED行业将会回归良性发展的轨道。”
奚明博士认为，考虑到照明替换市场的爆发以及智能照明、植物工厂等新应用领域的不断出现，行业景气度将会延续较长时间，至少在4-5年以上。而且她还强调，适度的产能过剩是行业良性竞争的自然现象，相信有了之前的经验，企业、政府相关部门能够更加理性和清醒地认识行业发展规律，避免重蹈产业严重过剩的覆辙。
对于国产MOCVD的市场前景，理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明对记者说了几句意味深长的话，这可能也是留下来的那几家国产MOCVD设备制造企业目前最真实的心态，同时也表达出了整个LED行业人士的希望。
“MOCVD设备国产化的道路注定将会曲折而漫长，企业必须有打攻坚战和持久战的心理准备和资金储备。理想能源在MOCVD项目立项之初就对此有清醒的认识，在项目执行期间，股东各方对该项目提供了大力支持;项目团队对自主开发的技术路线极具信心。这些努力和坚守都得到了客户的认可并取得了较为理想的结果。”
“针对未来的市场，理想能源将继续本着自主开发、与客户积极合作互动的原则，以提升客户工艺水平和降低客户成本为目标，进一步完善设备和提升客户支持能力;实现与客户的共同成长。”
“从目前设备运行的数据来看，设备的可靠性和稳定性良好;当然，这只是1年多的运行数据，还需较为长期的观察与验证，我们对此抱有信心。”
希望国产MOCVD设备如奚明博士所言：“国内LED芯片产业从无到有，从弱到强，走出了一条跨越式发展的道路;目前LED的芯片产量和MOCVD设备保有量都在全球处于领先地位，这是国产MOCVD最终成功产业化的基石。相信在终端应用的大力促进之下，通过设备厂家与最终用户的不断互动，国产MOCVD设备将在不久的将来形成与进口设备一较高下的能力。”