TP 模拟芯片粗化后出光率提高情况,用Reptile构建鳞甲
各位前辈:小弟在尝试用TP模拟粗化后芯片出光情况,芯片结构如图,用reptile在蓝宝石衬底表面制备纳米孔洞图形,光线5000条,功率1W,发现出光率提高很小,从20提高到22%,我现在不知道的是:
1.蓝宝石衬底需要设置表面属性么 ?
2. 由于在两个界面处构造reptile,软件报错,所以在衬底与外延间增加了1nm的空隙,解决软件问题,请问有影响么?
3.理论上提高很大,可实际模拟,效果很差,实在找不到原因
4. 用reptile功能制备图案,那图案空余的地方该是什么?空气还是上面的外延GaN

  • tu11.jpg

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